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外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2870mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
适用场景：电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备功能：用于Load Port，提供氮气吹扫功能，达到降湿除尘的目的
设备功能：用于控制EFEM中Particle（颗粒物）含量，还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH（相对湿度）
总部
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
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